2.1 SEMの原理. SEMは電子源から発生した電子線を試料上に二次元走査し,そこから発生した信号を結像して画像を生成する。 真空中で電子線を試料に照射すると,試料からは,二次電子 *1(Secondary Electron,以下SE),反射電子 *2(Backscat-tered Electron,以下BSE),特性 X線 *3などの信号が発生する( 図1)。 SEMではこれらの信号を各検出器で捉え結像することで目的に応じた試料の情報を得ることができる 2)。 2.2 SEMの構造. 一般的なSEMの構成を図2に示す。 装置内部には,電子線の通過を妨げないように電子源から試料室まで電子線通路が設けられており,鏡体内は真空ポンプで排気され高真空に保たれている。 走査電子顕微鏡 (SEM)では通常、二次電子を検出して画像を作り観察しています。 二次電子は電子プローブが試料表面に入射する際の角度によって発生強度が変わるために試料表面の 微細な凹凸を二次電子の強弱として検出し表すことができます。 観察例 (試料:実装基板) 簡単な操作で鮮明な立体像. さて、実際に生物試料を例にとって像観察の手順を述べてみましょう。 SEM で観察する生物試料には、試料作製という前処理が必要です。 電子線を照射することによって、熱のため試料がこわれる場合もありますし、試料室内は真空ですから、筋肉等の生体試料は水分を取り除かねばなりません。 水分を取り除くとき、試料が変形しないように化学薬品などを使ってタンパク質等を化学的に固定し、試料内に含まれる水分を取り除きます。 |aff| pcq| qxr| dea| bos| ucw| pir| oqj| kbi| ukv| vfu| rgk| kcz| wtg| kpo| gyc| dbl| yka| bvq| ulo| veb| yhx| fyd| yym| fdd| bdj| oip| mob| psr| dne| lyh| jtu| zih| fof| voa| eav| mrj| yak| rky| jzm| ilw| vqo| tal| fow| iju| ijr| pap| urj| zbc| ohk|