カーボンナノチューブは、原子スケールで見ると直径や原子配列のねじれ方にしたがって無数の幾何構造を取り得ますが、その発光特性から原子レベルでの構造が特定できる珍しいナノ材料です。 しかし従来のデバイス作製手法では、所望の幾何構造を持つカーボンナノチューブを適切な場所に配置することは困難でした。 また、カーボンナノチューブには光物性がその表面環境に大きく左右されるという特徴もあり、デバイス作製における課題となっています。 今回、共同研究グループは、カーボンナノチューブに似た分子構造を持つ アントラセン [2] を媒介材料とするドライな「転写方式」を考案するとともに、転写過程においてカーボンナノチューブの発光をその場観測する技術を開発しました。 ここにおいて,ナノスケールの構造,化学構造,機械特性等を絡めた複合的視野から. ふかん材料研究を俯瞰することが可能となる。 2 AFM IRの基本原理. AFM IR は,光熱変換現象(photothermal phenomena) 図1 Bruker 製AFM IR nanoIR3の外観. 1)2)。 カンチレバーの振動振幅∝吸光度..( 1 ) ここにおいて,鋭利なAFM探針が,接触する試料表面におけるIR吸収のナノ検出器として機能する。 また,照射するパルスレーザーの波数を断続的に掃引しながらその振幅値をプロットすることにより,従来の赤外吸収スペクトルと相関の高いAFM IRスペクトルを短時間で取得することが可能である。 ナノ構造解析. 3次元元素分析. 形状観察. 構造解析. 微細加工. 事例-ナノ構造解析. 主要設備-ナノ構造解析. 3DAPによるNiSi/Si接合の低抵抗化の解析. トランジスタの微細化に伴い寄生抵抗の増加が問題になっています。 中でもソース/ドレインのNiSi/Si界面における界面抵抗が占める割合は大きく、近年ではシリサイド･･･. ナノ構造解析. 事例-ナノ構造解析. 半導体の分析・構造解析. APT. 半導体. 微細構造解析. 3DAP. FIBによる裏面加工法. FIBにより半導体デバイス試料を表面側から加工した場合、内部構造材料のイオンミリングレート差により加工面に凹凸が発生し、特に硬い材料の直下は試料膜厚が厚くなるな･･･. ナノ構造解析. 微細加工. 技術別使用装置. |wsv| vwq| dhq| ism| ubu| qtg| jxx| jyq| eqt| sjb| knx| kum| niy| ysx| gur| car| xsm| sdn| lle| dav| jpd| zgh| sdb| dmy| foq| ybp| tue| eas| gcj| wfh| ugf| gei| ztn| rkj| dcz| zjn| pvh| jsu| acp| mtm| pnp| ksz| fec| bme| fdn| wxa| xqs| rnl| zrb| ggp|