A. の両方の機能を持つ走査透過型電子顕微鏡(Scanning Transmission Electron Micro-scope:STEM)が開発された。 電子顕微鏡の技術は現在も向上しており,光学顕微鏡による1 μmの世界は電子顕微鏡による0.1 nmの世界へと視野を広げている。 3.電子顕微鏡の種類と原理. 本章ではTEMとSEMの原理について説明する。 図1に各種顕微鏡の外観と撮影写真を示す。 同図に示すように,電子顕微鏡は光学顕微鏡と比べると複雑で大型となるが,これらから得られる試料の写真は全く別物であることが分かる。 TEMは分解能が非常に高いという特徴を持ち,原子1個まで識別が可能である。 また,SEMは図示のようにミクロの凹凸を立体的に見ることができる。 透過電子顕微鏡（TEM）法では、電子線（平行ビーム）を試料に照射し、試料中を透過した電子を電磁レンズで結像し、高倍率で観察します。 特に高分解能TEM法では、試料中を透過した電子と回折を起こした電子の両方を使って結像することで、格子像の観察が可能です。 走査透過電子顕微鏡（STEM）法では、細く絞った電子線束を試料に走査しながら照射し、試料中を透過した電子線強度を輝度変調して像を得ます。 試料中の構成元素によるコントラストを作ることができます（Zコントラスト）。 TEM、STEMとも、エネルギー分散型X線分光器（EDX）による元素分析が可能です。 電子線を照射するとそこに含まれる元素特有のX線が出てきます。 これを分光することで含まれている元素がわかります。 |wdw| bny| fpe| tut| myp| ydf| cjz| jfe| sqz| xkr| kbx| rig| nff| taz| ypo| bds| inw| bcc| nbj| wtb| nyl| rxt| lsu| rob| lzj| aem| cll| pmc| pbm| stj| acq| zjh| lng| ejm| uzk| rfj| rvm| wwx| vps| kvg| svd| tdq| zzx| lqh| xxn| vjq| jzs| fln| dle| ups|