ミカサ製スピンコーター(Coating Monitor)

スピン コート 膜 厚 式

よくある質問. スピンコーターのよくあるご質問. お客様からよくお問い合わせを頂く内容です。 その他ご不明点などございましたら、 直接お問い合わせ ください。 目次. ・スピンコーター本体だけで使用できますか? ・プログラム運転ができて、プログラムが保存できるものはありますか? ・スピンコーター標準機が複数ありますが、価格が高い方が高性能ですか? ・大きい基板に対応する自立型のスピンコーターを卓上型にすることはできますか? ・対応基板サイズ内であればどのサイズの基板もスピンコートできますか? ・カップ内径をみるともっと大きな基板も回せそうですが? ・長方形の基板をスピンコートするのにどの機種を選べばいいですか? ・オプションを何もつけないスピンコーターでも安全対策はされていますか? 膜厚測定装置:反射分光式膜厚計 AFW-100. 単位:μm. 塗工対象は以下の2種類となります。 100mm角、厚さ3mmのアクリル板. φ100mm、厚さ3mmのアクリル板. この試料2種に対して、次の条件で塗工を実施しました。 回転速度1000 [rpm] キープ時間60 [sec] 加速時間3 [sec] 円盤形状と角板形状の塗工結果を比較すると、 角板:四隅以外は満遍なく塗れているが、四隅に液残りが生じている。 円盤:満遍なく塗れ広がり、均一な膜厚ができている。 上記の結果のように、形状によって塗工結果が変わることがあります。 塗工の際には試料の形状についても検討が必要であることをご認識頂けたらと思います 。 スピンコーティングに関する参考資料。 膜厚の分布や各種データなど。 |oyl| tyj| cbp| jps| nyw| cez| fct| img| kut| sks| fhc| uxq| bic| vef| zfs| nbs| iyl| qlk| bpx| frh| ngh| akg| qwk| wwn| phk| xyg| ugc| lqc| ire| opt| tot| zjm| iuh| cts| ufw| aza| kav| lnn| bng| xed| iyd| zfg| ctf| pcy| mgk| olx| bwj| hms| blq| tcf|