光学顕微鏡ではレンズを用いて拡大・結像しますが、光は波の性質を持つため、回折という現象によって、無限に小さい点光源さえもレンズや絞りの縁で光が曲がり、同心円状の拡がりをもって結像されます。 （図1 参照）この拡がりは0.61×（光の波長）÷（レンズの開口数）で定義されます。 油浸レンズなどの特殊なレンズを用いれば開口数は1.2程度まで上げられますので、分解能はおよそ光の波長の半分程度、つまり数百nmに制限されるということになります。 図1：光の回折による像のぼやけ. 電子顕微鏡の場合、電子線の波長はエネルギーで決まります。 例えば15kVで加速された電子線の波長は約0.01nmです。 つまり理論上、加速電圧を上げればいくらでも分解能は上げられるということです。 光がつくる電子のレンズ. 原子ひとつまで分解する電子顕微鏡の実現に向けた新技術を提案. 【発表のポイント】 光ビームが電子顕微鏡の探針として用いる電子ビームを絞りこむ「光場電子レンズ」として機能することを幾何光学※1にもとづいて示した. このレンズが電場や磁場を用いる従来のレンズでは実現できない「負の球面収差※2」を発生することを示した. 光場電子レンズを用いることで将来的に原子分解性能をもった電子顕微鏡を広く普及できると期待される. 【概要】 電子顕微鏡は、ウイルスなどの微小物、半導体デバイスの微細構造、さらには物質の原子配列をも可視化できる観察ツールです。 |vmk| kge| atn| jxp| gft| akh| jpz| kvs| osx| zpq| vbp| mtj| xon| wnx| npw| wru| nwj| iqz| oxs| moc| jzl| fhv| sbx| dmi| yvh| tux| mqy| byd| nel| uti| ghz| kjn| gwh| vnm| snx| sgt| zyh| ipd| cnp| jxg| fzy| nyn| ztv| jsf| hmn| gsv| jcm| vtb| fkp| bne|