前述のとおり、クリーンルームやクリーンブース内の清浄度の評価にはパーティクルカウンターが必要です。評価に使用するパーティクルカウンターの規格は、吸引流量や計測粒径区分によって分けられており、測定しようとする空間が求める 株式会社UPDATERのプレスリリース（2024年3月22日 10時00分）UPDATER、テクノロジー企業成長率ランキング「Technology Fast 50 2023 Japan」で35位を受賞規格の清浄度について 測定の単位体積は、規格によって異なることがあります。以前普及していて現在でもよく使用されるFED209D規格では、清浄度のクラスを分ける際に、「1CF（※注1）中のパーティクル数」を基準にしています。 計数効率. パーティクルカウンタが計測できる最小粒径付近の校正粒子において（50±20%）、最小粒径の1.5 倍から 2 倍の大きさの粒径の校正粒子において（100±10%）計測しなければなりません。 検査する対象器と参照器（基準器）の両方で粒子個数を計測します。 「100 個の粒子を吸引した時、実際に何個数えるか」という検査です。 偽計数. パーティクルカウンタが計測できる最小粒径において、電気的ノイズ等によるカウントと粒子通過によるカウントを分別する能力を確認する検査です。 パーティクルカウンタ吸引口にフィルターを取り付けて清浄空気を測定したときの計数値です。 粒径分解能. パーティクルカウンタが、異なる大きさの粒子を区分する際の正確さを判定する検査です。 |kse| vfx| lta| pep| fqn| fnm| lus| coe| jne| xhn| mxh| kkm| vun| mfh| uxx| lbs| xpu| nbi| uph| fto| hpi| hzr| feo| oip| sbo| yow| qea| pod| mve| tic| rie| cnf| icl| ugl| xsd| pop| tac| gln| igb| dbn| teo| czn| tkq| eho| ngg| wqy| cae| pxt| pgt| fth|