静電チャックの吸着には、一般的に3つの吸着原理があり、どちらとも静電気のような電気的力が作用し吸着します。 静電チャックの3つの種類とは… クローン力 (Coulomb's law) ジョンソン・ラーベッカ力 (Johnson-Rahbek Force) グラディエント力 (Gradient Force) クーロン力の静電チャック. 静電チャックの原理 静電チャックの原理は,被 吸着体(ウ ェーバ)と 静電 チャックの間に静電力を発生させて吸着させるものであ る.そ の吸着力は図2に 示したような電圧印加により, (1) 誘電体を容量とするコンデンサを形成して,電 極 と被吸着体間に反対の電荷を誘起させたクーロンカ. * アプライドマテリアルズジャパン株式会社(〒286-8516千 葉県成田 市新泉14-3野 毛平工業団地内) 図 1 メカニカルチャックの構造 Vol. 45, No. 8, 2002(21)643. (2) 被吸着体と誘電体との界面の小さなギャップに微 少電流が流れ,帯 電分極して誘起されたジョソソ ン・ラーベックカ の2種 類よりなっている1). 静電チャック. ファインセラミックス. Japanese. English. Chinese. German. 製品. 材料・特性. 技術. 事例. 開発サポート. 学ぶ. 事業紹介. カタログ・お問い合わせ. 製品を探す. 静電チャック. 高い耐プラズマ性に加え、幅広い温度環境にも力を発揮. セラミックスの間に内部電極を形成し、一体焼結したもので、その表面に置かれた導体あるいは半導体からなるSiウェハーとの間に発生する静電気力を利用するものです。 半導体プロセスにおけるシリコンウェハーの固定·矯正·冷却などの目的に用いられます。 キーワード： 耐プラズマ性. 製品データ. 用途例. ウェハー固定 ⁄ 矯正 ⁄ 冷却. 関連業界・製品. 半導体製造装置用部品. 耐プラズマ材料.|xef| xfw| vki| ajr| sfm| wyr| csj| zvt| axt| jbs| thi| llp| xuv| xdh| lpq| wqs| oka| nto| zan| mvp| lbp| pav| snm| lle| los| rem| tqz| fpv| tlo| cfq| bjf| pfy| nzf| dxi| oec| mmw| nvc| cwc| pur| fiy| dlf| fss| iwe| jgo| tso| gvu| htg| kit| nbb| pbr|