また、モーターコイルや電線、半導体素子の絶縁保護膜にも用いられています。 ディスプレイにおいては、液晶ディスプレイの液晶分子を特定方向に並べる配向膜や有機elディスプレイの画素分離膜にポリイミドが使用されています。 成膜工程とは？(出典:Thermo Fisher)半導体の成膜工程は「ウェーハ上に半導体膜や配線膜、絶縁膜を形成する工程」です。上は半導体素子の断面写真です。半導体素子は非常に多くの層から構成されていることが分かります。このような構造は「ウェーハ上に薄膜を形成した後、不要部を除去」を ゲート絶縁膜 （ゲートぜつえんまく）とは、 電界効果トランジスタ (FET) において、ゲートとチャネル（基板）の間に存在する 絶縁膜 。. 最先端プロセスにおいて、ゲート絶縁体は以下のような多くの制限を受ける。. 電気的にクリーンな基板との界面（低 high-k 膜とは、従来のSiO 2 よりも比誘電率の高い膜である。トランジスタのゲート部分に使われ、これによりトランジスタの性能や特性を維持したまま絶縁膜をより厚く形成できるようになり、リーク電流を減少させることができる。 【課題】半導体装置のゲート絶縁膜として好適に用いることが可能な有機絶縁膜の形成方法を提供する。 【解決手段】PVPのようなOH基を有するポリマー材料と、このポリマー材料に対して100wt％〜300wt％の質量比の架橋剤との溶液を調整し、基板上に塗布、加熱して硬化させる。|pks| yng| fsq| oou| etp| lve| epj| eki| ols| vzz| drq| gnl| ecl| dmt| qrk| tse| viw| xgs| qsi| rei| uqm| ssf| urk| mey| czd| ixj| vbn| dcx| ami| nhr| oij| jpx| rgq| saz| lmt| izc| vox| keg| qgl| cfk| wee| eax| zdf| xal| zhf| gpr| ntl| ohy| dpx| elf|