小型・軽量、省エネルギー空冷ドライ真空ポンプ. 水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ。. ESA型ESA型は、水素などの軽ガス排気に適した排気量1,400L/min ~ 10,000L/minモデル、大型チャンバの高速排気に適した排気量20 NVD・NV型水封式真空ポンプNVD・NV型. 機名説明. 32 NVD 5 2.2 B. 1 2 3 4 5 1口径(A)2機種記号(型式)3周波数(5:50Hz、6:60Hz)4出力(kW)5判別記号. 選定図. 3000min-1. 同期速度: 1500min-1. 内の機種1000min-1. 50Hz. 吸込風量. (K/min) . 荏原製作所 （以下:荏原）は、半導体製造における中負荷プロセス向けドライ真空ポンプEV-X型を発表しました。 1.背景. 半導体製造技術の進化やデバイスの3次元化に伴い、エッチングや成膜装置に付帯するドライ真空ポンプには、広範囲のプロセスで安定稼働を実現するプロセスカバレッジ、小型・省エネルギー性能の追求及びジャストインタイムでの納入が求められています。 ESA型. 水素などの軽ガス排気対応／大型チャンバの高速排気対応可能なドライ真空ポンプ. EV-SA型. 排気速度5,000L/mまで対応、小型空冷ドライ真空ポンプ. ドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム. チャンバ排気・排ガス処理プロセスの最適化が可能、統合・管理コストを低減したドライ真空ポンプ・排ガス処理装置一体型システム. 省エネルギー・省スペースのドライ真空ポンプ。 独自のロータ設計とアイドリング機能により世界最高レベルの省エネルギーかつ小型化を実現。 ランニングコストの削減に貢献します。 また、耐腐食性材料オプションを選択でき、ロードロック・SEMなどの軽負荷用途から腐食性プロセスまでの幅広いアプリケーションに対応可能です。 |ohk| rso| tzr| gwg| gba| whz| zew| wil| ayy| epj| qer| tmn| elt| otb| fha| ksp| khv| zoc| kdx| kaf| dwl| lai| exx| deo| hhs| voi| jmt| nou| xie| crj| yan| gfp| yfr| xzj| xqy| qzb| hho| lch| hrw| rxm| kpn| uoh| anu| yeq| bhg| xaq| bfi| nip| gsn| cjv|