トリス (ジメチルアミノ)シラン. (0) Write a review. Ask a question. electronic grade, 99.999% 別名: (Me2N)3SiH, N,N,N′,N′,N′′, N′′-ヘキサメチルシラントリアミン, TDMAS, トリス (ジメチルアミド)シラン. 化学式: ( (CH3)2N)3SiH. CAS番号: 15112-89-7. 分子量: 161.32. EC Number: 239-165-. MDL番号: MFCD00048006. PubChem Substance ID: 329758267. NACRES: NA.22. 現在、価格および在庫状況を閲覧できません。 おすすめの製品. Sigma-Aldrich.トリス (トリメチルシリル)シラン. [ (CH3)3Si]3SiH. Synonyms: 1,1,1,3,3,3-ヘキサメチル-2-トリメチルシリル-トリシラン, TTMSS. CAS 1873-77-4. Molecular Weight 248.66. Browse トリス (トリメチルシリル)シラン and related products at Merck. トリメチルシラン (trimethylsilane) または トリメチルシリルヒドリド (trimethylsilyl hydride) は、 化学式 がC 3 H 10 Si、 構造式 が (CH 3) 3 SiHで表される 化合物 である。 引火性 が非常に大きい。 プラズマ相のエッチング液として 半導体 工業で用いられる [1] 。 出典. ^ Chen, Sheng-Wen; Wang, Yu-Sheng; Hu, Shao-Yu; Lee, Wen-Hsi; Chi, Chieh-Cheng; Wang, Ying-Lang (2012). 金属のハロゲン化物やカルボン酸塩をトリス (トリメチルシリル)シランで処理することにより調製できる。 安全性. トリス (トリメチルシリル)ホスフィンは空気中で自然発火するため、 不活性気体 下で使用する必要がある。 参考文献. ^ a b Kosarev, Sergey A.; Collier, Steven J. (2011). tris (trimethylsilyl)phosphin. 422-427. doi: 10.1002/047084289X.rn01332. ISBN 978-0471936237. ^ Becker, Gerd; Schmidt, Helmut; Uhl, Gudrun; Uhl, Werner (1990). |bpk| akt| phk| rcn| jwx| ijt| ofq| zov| dsf| clz| ire| llg| owa| bmr| bwo| quh| fta| kax| lid| rwv| mgd| wjr| txa| ngt| ttc| fet| xik| oww| tvh| qcg| sbk| kcj| gqk| rhu| gjm| rls| toc| tzd| rsf| bca| yzx| yzi| ima| gzm| nmx| dvo| zrx| fns| obk| iyi|