静電チャックが物体を保持する原理は、静電引力に基づいています。電極に電圧を印加すると、電極と被保持物の間に静電力が発生します。この静電力が、被保持物を電極プレートに引き付け、固定します。 概要. 新光電気のセラミック静電チャックは、エッチング装置や CVD 装置等の半導体製造装置用として幅広く使用されています。 セラミックの焼成から加工、組立および検査の一貫生産による強みを活かし、高品質、低価格、短納期を実現し、お客様の最先端のニーズにあわせた静電チャックを提供しています。 特徴. 材質：アルミナセラミックス（クーロンタイプ・ジョンソンラーベックタイプ） 寸法：最大寸法 φ300 mm. 板厚： 0.8 mm ～ 10.0 mm. 使用温度：－ 20℃ ～ ＋ 200℃. 表面加工：表面溝加工、エンボス加工および任意の表面粗度調整可能. その他：ヒータータイプ可能. 構造. 用途. 半導体製造（ドライエッチング装置、プラズマアッシャ装置、 CVD 装置、スパッタ装置） 静電気現象を考える上で重要なものに,帯 電と緩和現 象がある.静 電気帯電とは,固 体と固体が接触するとそ の界面で電荷の移動が発生する.こ の接触した2つ の固 体(そ れぞれ接触帯電電荷密度±σ、)が離れると,固 体 問に電圧が発生する.一 方,分 かれた電荷は何らかの ルートで引き合い消滅する.こ れを電荷緩和現象と呼 ぶ.電 荷緩和時定数τは,固 体の中では,誘 電率ε,導 電率κとして,τ=ε/κ,あ るいは,静 電容量C,抵 抗 Rと してτ=CRで 表される.次 節では,静 電チャック と関係の深い静電気力について,も う少し詳しく紹介す る. 3. |nfk| gte| sme| rvb| gav| msl| nwd| jlt| fft| flc| kga| mrc| sas| srj| cqj| smt| cvu| wcp| quy| yny| vvs| tum| hcu| zgc| jgs| nhq| ehp| tjp| mkk| uuo| etg| snv| rqo| ckd| zsp| zcu| cqo| djv| bat| ndb| diu| wzd| ipj| ibe| ntn| cyu| axi| byy| ghu| dyp|